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jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 102.3
散金: 797
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帖子: 774
在线: 391小时
虫号: 919628
注册: 2009-12-03
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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独立之思考，自由之精神

1楼2013-08-14 18:07:58

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

应助: 20282 (院士)
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红花: 1374
帖子: 93063
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注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷

【答案】应助回帖

可能有三方面的原因：1、真空泵有问题；2、管道或腔体蜜蜂有问题；3、靶材空隙率较大，包含的气体很多。

19楼2014-10-20 17:09:55

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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