应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
52/1返回列表
查看: 4190  |  回复: 23
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

jiart4476

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去 已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

jiart4476

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
独立之思考，自由之精神
1楼 2013-08-14 18:07:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

可能有三方面的原因：1、真空泵有问题；2、管道或腔体蜜蜂有问题；3、靶材空隙率较大，包含的气体很多。
赞一下 回复此楼
19楼2014-10-20 17:09:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答

255255

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, ★有帮助 2013-08-14 19:04:50
机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了，或者就是漏气
赞一下 回复此楼
3楼2013-08-14 19:03:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476(fbqrdzs代发): 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:11
机械泵换油，系统检漏！漏气的可能性很大！
赞一下 回复此楼
4楼2013-08-15 00:09:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongxd

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:19
基本是漏气，最近经常做，把腔体打开好好擦擦，不行涂点真空油脂，很管用
赞一下 回复此楼
5楼2013-08-15 00:18:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭