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jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 774
在线: 391小时
虫号: 919628
注册: 2009-12-03
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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独立之思考，自由之精神

1楼2013-08-14 18:07:58

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公子_小白龙

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 6
在线: 2.2小时
虫号: 2991796
注册: 2014-02-24
专业: 金属基复合材料

【答案】应助回帖

看看离子规会不会有问题？可能是离子规接触不良或者操作不当弄坏了

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

20楼2015-03-16 18:56:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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