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jiart4476

银虫 (正式写手)

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[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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jiart4476

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独立之思考，自由之精神

1楼 2013-08-14 18:07:58

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qwcmos

铜虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

引用回帖:

10楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-16 22:07:11
你是说真空泵下面的润滑油吗？还有。

机械泵里的油。
你的肯定是漏气，用检漏仪检漏吧。

11楼2013-08-30 15:34:22

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255255

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, ★有帮助 2013-08-14 19:04:50

机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了，或者就是漏气

3楼2013-08-14 19:03:38

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mzhuxust

木虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
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jiart4476(fbqrdzs代发): 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:11

机械泵换油，系统检漏！漏气的可能性很大！

4楼2013-08-15 00:09:20

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hongxd

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:19

基本是漏气，最近经常做，把腔体打开好好擦擦，不行涂点真空油脂，很管用

5楼2013-08-15 00:18:24

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