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jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 102.3
散金: 797
红花: 3
帖子: 774
在线: 391小时
虫号: 919628
注册: 2009-12-03
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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独立之思考，自由之精神

1楼2013-08-14 18:07:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

cishitianya

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 372.9
散金: 20
红花: 1
帖子: 133
在线: 80.7小时
虫号: 2003296
注册: 2012-09-15
性别: GG
专业: 等离子体物理

【答案】应助回帖

不知道是不是与腔室大小有关，我们的腔室能是140mm*240mm圆柱抽到2~3pa。
不知道哪位虫友能否解释真空泵极限压力什么意思？气镇阀有什么作用？真空泵极限压强是什么条件下的压强，它与实际抽到的压强相差也太远了。

12楼2013-08-30 16:34:44

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