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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
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jiart4476

银虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
20楼: Originally posted by 公子_小白龙 at 2015-03-16 18:56:13
看看离子规会不会有问题？可能是离子规接触不良或者操作不当弄坏了

谢谢，问题已经解决，这个帖子忘了撤销

[ 发自小木虫客户端 ]
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独立之思考，自由之精神
21楼2015-03-17 09:54:37
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
15楼: Originally posted by 蔚蓝枫叶885 at 2013-09-11 15:08:08
简单点的方法就是酒精滴漏！在一个借口出，密封圈出用酒精滴漏如果真空示数变化几帕左右说明该处漏气！...

酒精检漏的方法不错，我们也是这样做的，不过用丙酮效果更好，因为它挥发性更强。用针管在可能漏气处滴一滴丙酮，如果真空示数有很大变化，说明该处漏气。不过检漏这一过程确实比较麻烦，不是一会儿就能检完的；
如果机械泵的油从来没换过，还是换了吧，又不贵。
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22楼2015-03-17 10:44:17
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1351459515

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？恳求你问题出在哪里啊，咋解决的。
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23楼2017-04-11 22:28:07
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cj4566

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by jiart4476 at 2015-03-17 09:54:37
谢谢，问题已经解决，这个帖子忘了撤销
...

请问后来您怎么解决漏气问题的？谢谢！另外，离子规是什么？
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24楼2018-11-30 16:24:51
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