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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
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jiart4476

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去 已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？
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jiart4476

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1楼 2013-08-14 18:07:58
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cj4566

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by jiart4476 at 2015-03-17 09:54:37
谢谢，问题已经解决，这个帖子忘了撤销
...

请问后来您怎么解决漏气问题的？谢谢！另外，离子规是什么？
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24楼2018-11-30 16:24:51
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