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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射偏压增大电流为零了怎么回事

大侠们帮帮忙:
      磁控溅射时,加大工件负偏压,加到300V时,偏压电源为零了是怎么回事?
补充:状态为靶材开启来时。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-7-25 at 11:51 ]
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磁控溅射靶材资料大全

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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+20, 有帮助, 这么支持,金币都给你了。 2013-08-20 15:07:31
电源功率一定,当电压增大时,电流相应降低。另一种是负偏压增加到与靶材偏压相当,真空室里面的带电粒子运动方向不一致了,所以电流为零了。
5楼2013-08-20 15:05:24
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liaofang20

银虫 (小有名气)

没人理我
2楼2013-07-27 10:37:24
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 蒋青松 at 2013-07-28 18:24:27

4楼2013-07-29 11:18:47
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

是不是靶材没有安装好?检查短路了吗?
有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2013-08-21 08:44:02
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