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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射偏压增大电流为零了怎么回事
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射偏压增大电流为零了怎么回事

大侠们帮帮忙：
      磁控溅射时，加大工件负偏压，加到300V时，偏压电源为零了是怎么回事？
补充：状态为靶材开启来时。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-7-25 at 11:51 ]
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1楼 2013-07-25 11:34:56
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liaofang20

银虫 (小有名气)
没人理我
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2楼2013-07-27 10:37:24
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蒋青松
3楼2013-07-28 18:24:27
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 蒋青松 at 2013-07-28 18:24:27
4楼2013-07-29 11:18:47
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+20, ★有帮助, 这么支持，金币都给你了。 2013-08-20 15:07:31
电源功率一定，当电压增大时，电流相应降低。另一种是负偏压增加到与靶材偏压相当，真空室里面的带电粒子运动方向不一致了，所以电流为零了。
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5楼2013-08-20 15:05:24
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
是不是靶材没有安装好？检查短路了吗？
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有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2013-08-21 08:44:02
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2013-08-21 08:44:02
是不是靶材没有安装好？检查短路了吗？

短路了电流一般不是很大的吗？
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7楼2013-08-21 11:56:23
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