24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1745  |  回复: 6

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射偏压增大电流为零了怎么回事

大侠们帮帮忙:
      磁控溅射时,加大工件负偏压,加到300V时,偏压电源为零了是怎么回事?
补充:状态为靶材开启来时。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-7-25 at 11:51 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

2楼2013-07-27 10:37:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
3楼2013-07-28 18:24:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 蒋青松 at 2013-07-28 18:24:27

4楼2013-07-29 11:18:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+20, 有帮助, 这么支持,金币都给你了。 2013-08-20 15:07:31
电源功率一定,当电压增大时,电流相应降低。另一种是负偏压增加到与靶材偏压相当,真空室里面的带电粒子运动方向不一致了,所以电流为零了。
5楼2013-08-20 15:05:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

是不是靶材没有安装好?检查短路了吗?
有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2013-08-21 08:44:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2013-08-21 08:44:02
是不是靶材没有安装好?检查短路了吗?

短路了电流一般不是很大的吗?
7楼2013-08-21 11:56:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liaofang20 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +4 翩翩一书生 2026-04-09 4/200 2026-04-10 00:07 by lwk2004
[考研] 求调剂 +12 MAX怅惘 2026-04-09 13/650 2026-04-09 23:32 by cls512
[考研] 调剂 +8 卷卷卷心菜_ 2026-04-09 8/400 2026-04-09 22:16 by lbsjt
[考研] 269求调剂 +9 啊啊我我 2026-04-07 9/450 2026-04-09 20:17 by 小瑶楠南
[考研] 085600材料与化工专硕329 求调剂 +24 额cc 2026-04-06 25/1250 2026-04-09 16:01 by wp06
[考研] 一志愿武理车辆 281 求调剂 +5 上岸研究生. 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:56 by only周
[考研] 一志愿华南师范大学0702物理学305调剂 +4 念常安 2026-04-07 6/300 2026-04-08 22:53 by bljnqdcc
[考研] 软件工程求调剂22软工296分求调剂,接受跨调 +4 yangchen2017 2026-04-08 5/250 2026-04-08 21:56 by 土木硕士招生
[考研] 生物与医药273求调剂 +17 荔题南墙 2026-04-05 18/900 2026-04-08 19:12 by 我减肥1
[考研] 土木水利专硕276分求调剂 +6 我想上学!!6 2026-04-05 9/450 2026-04-08 17:45 by 宋小宝HQ
[考研] 336求调剂,一志愿中科大 +9 墨彧 yuyu 2026-04-06 9/450 2026-04-08 11:24 by 想读书的菌菌
[考研] 344求调剂 +11 魏子per 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:01 by JourneyLucky
[考研] 331求调剂 +5 张元一 2026-04-07 6/300 2026-04-07 22:13 by hemengdong
[考研] 材料调剂 +17 小刘同学吖吖 2026-04-06 18/900 2026-04-07 11:41 by 诗与自由
[考研] 一志愿C9的化学工程(085602) 340分,感觉校内调剂无望,求调剂 +12 万事宜臻 2026-04-04 12/600 2026-04-06 07:46 by 无际的草原
[考研] 353求调剂 +10 MayUxw1 2026-04-03 10/500 2026-04-05 09:23 by 无际的草原
[考研] +5 化工专硕323分 2026-04-04 5/250 2026-04-05 08:02 by 544594351
[考研] 求调剂 +3 农业工程与信息 2026-04-04 3/150 2026-04-04 12:19 by 舍而后得
[考研] 机械专硕297 +3 Afksy 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:24 by 1753564080
[考研] 0705理学294求调剂 +3 成果成果cg5 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:04 by simons1972
信息提示
请填处理意见