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磁控溅射偏压增大电流为零了怎么回事
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大侠们帮帮忙: 磁控溅射时,加大工件负偏压,加到300V时,偏压电源为零了是怎么回事? 补充:状态为靶材开启来时。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-7-25 at 11:51 ] |
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