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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题 已有6人参与

大家好！我现在介绍下实验内容：
制作一金叉指电极（磁控溅射），其尺寸为10*10mm，其叉指条纹宽度为10um，间距为200um，其叉指条纹数量20个。
1.定制相应尺寸的光刻掩膜板；
2.基片清洗，经抛光、丙酮、无水乙醇和去离子水处理后烘干；
3.旋涂光刻胶，采用KW-4A型匀胶机旋涂；
4.掩膜曝光，将掩膜板放入光刻机光刻，并显影；
5.溅射，将上述基底放入溅射机溅射金属电极；
6.超声剥离，浸入丙酮溶液，并用超声剥离得到叉指电极。
以上制作步骤是胡永明先生专利提供的方法。

我现在遇到的问题是：
1.光刻掩膜板定制的公司及价位（除南京清微电子外）；
2.以上各步骤所需要的制作时间和操作注意事项；
3.光刻技术相关设备型号、实验材料以及优缺点（如光刻机型号、光刻胶型号）。

[ Last edited by congqin312 on 2013-7-11 at 14:46 ]
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1楼 2013-07-08 13:42:03
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-07-11 11:46:22
这破流程还专利？
你现在遇到的问题是需要个人把整个叉指电极lift off的正确方法教一遍。不过，这个教一遍，比替你把电极做出来费劲多了。更何况你找的这个所谓的专利，可以说是状况百出，陷阱无数。
搭着讨论的幌子请教问题，还分享，还进步…………
想获得帮助就老老实实请教
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3楼2013-07-08 22:27:48
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
做个4寸的版的话的确要花1000元左右，我们一般在中科院微电子所制版，说实话，价格有些小贵。制版一般很快，只要你把版图发过去，一周左右就会做完。麻烦的是后面的工艺阶段，这个过程不是一次能成功的，特别是光刻过程，但以你的结构来说，叉指数量少，间距大，这个应该不是太困难，就是叉指太狭小，光刻过程中会遇到些困难。所以，光刻前，匀胶的均匀性必须控制好，合理选择匀胶转速，匀胶后还要进行烘胶。如果对叉指精度要求严格的话，光刻中光刻功率，曝光时间都需进行合理设置。还有，光刻完成后，进行溅射金前，建议先溅射一层很薄的铬，再去溅射金，以提高金玉基地的粘附性。进行剥离时，不建议使用超声剥离，这样会使叉指脱落。我们实验室用的是SUUS的光刻机，光刻胶我一般用4620正胶，显影液AZ300和AZ400都可以，但AZ400用时需要稀释一下。不建议去纳米所去做，因为费用很贵。随便找个有光进口刻机的大学里都能完成这个实验，而且价格可以协商。祝好
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读书湖朱哥
^V^
9楼2013-07-10 19:33:19
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普通回帖

东风燕

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
掩模板制作的话可以选择深圳路维光电，前段时间刚做的，大概四英寸的要1100左右吧。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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东风燕
2楼2013-07-08 18:16:14
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个太简单了
随便一微电子的本科生都可以做吧
都是标准工艺了

掩膜版 上海和深圳一般四英寸都是1000+
工艺的话 确实没啥讨论的
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4楼2013-07-09 09:55:13
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-08 22:27:48
这破流程还专利？
你现在遇到的问题是需要个人把整个叉指电极lift off的正确方法教一遍。不过，这个教一遍，比替你把电极做出来费劲多了。更何况你找的这个所谓的专利，可以说是状况百出，陷阱无数。
搭着讨论的幌 ...

请您多包涵！自己意识到有不妥，帖子我删了吧，换成求助帖！我现在打算先去纳米所培训一下基本工艺操作。
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5楼2013-07-10 10:03:46
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 东风燕 at 2013-07-08 18:16:14
掩模板制作的话可以选择深圳路维光电，前段时间刚做的，大概四英寸的要1100左右吧。

谢谢，我现在先去培训一些基本操作工艺，之后再做掩膜板！
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6楼2013-07-10 10:07:24
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 读书湖朱哥 at 2013-07-10 10:03:46
请您多包涵！自己意识到有不妥，帖子我删了吧，换成求助帖！我现在打算先去纳米所培训一下基本工艺操作。...

这个是正解
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7楼2013-07-10 15:16:48
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ledlau

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-08 22:27:48
这破流程还专利？
你现在遇到的问题是需要个人把整个叉指电极lift off的正确方法教一遍。不过，这个教一遍，比替你把电极做出来费劲多了。更何况你找的这个所谓的专利，可以说是状况百出，陷阱无数。
搭着讨论的幌 ...

王老大 V5
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辛勤耕耘，收获知识，收获美好人生
8楼2013-07-10 19:17:49
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by 大水杯 at 2013-07-10 19:33:19
做个4寸的版的话的确要花1000元左右，我们一般在中科院微电子所制版，说实话，价格有些小贵。制版一般很快，只要你把版图发过去，一周左右就会做完。麻烦的是后面的工艺阶段，这个过程不是一次能成功的，特别是光刻 ...

非常感谢！
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10楼2013-07-11 09:42:34
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