| 查看: 3832 | 回复: 14 | |||
[求助]
磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题 已有6人参与
|
|||
|
大家好！我现在介绍下实验内容： 制作一金叉指电极（磁控溅射），其尺寸为10*10mm，其叉指条纹宽度为10um，间距为200um，其叉指条纹数量20个。 1.定制相应尺寸的光刻掩膜板； 2.基片清洗，经抛光、丙酮、无水乙醇和去离子水处理后烘干； 3.旋涂光刻胶，采用KW-4A型匀胶机旋涂； 4.掩膜曝光，将掩膜板放入光刻机光刻，并显影； 5.溅射，将上述基底放入溅射机溅射金属电极； 6.超声剥离，浸入丙酮溶液，并用超声剥离得到叉指电极。 以上制作步骤是胡永明先生专利提供的方法。 我现在遇到的问题是： 1.光刻掩膜板定制的公司及价位（除南京清微电子外）； 2.以上各步骤所需要的制作时间和操作注意事项； 3.光刻技术相关设备型号、实验材料以及优缺点（如光刻机型号、光刻胶型号）。 [ Last edited by congqin312 on 2013-7-11 at 14:46 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有109人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有8人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有10人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有2人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗？
已经有7人回复
- 磁控溅射 控制衬底温度的电极
已经有7人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 【学术交流】 磁控溅射——应用领域交流
已经有16人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池
已经有12人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2013-07-08 22:27:48
大水杯
木虫 (著名写手)
小虫
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 3889.1
- 散金: 1233
- 红花: 109
- 帖子: 2898
- 在线: 864.9小时
- 虫号: 1501401
- 注册: 2011-11-20
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
| 做个4寸的版的话的确要花1000元左右，我们一般在中科院微电子所制版，说实话，价格有些小贵。制版一般很快，只要你把版图发过去，一周左右就会做完。麻烦的是后面的工艺阶段，这个过程不是一次能成功的，特别是光刻过程，但以你的结构来说，叉指数量少，间距大，这个应该不是太困难，就是叉指太狭小，光刻过程中会遇到些困难。所以，光刻前，匀胶的均匀性必须控制好，合理选择匀胶转速，匀胶后还要进行烘胶。如果对叉指精度要求严格的话，光刻中光刻功率，曝光时间都需进行合理设置。还有，光刻完成后，进行溅射金前，建议先溅射一层很薄的铬，再去溅射金，以提高金玉基地的粘附性。进行剥离时，不建议使用超声剥离，这样会使叉指脱落。我们实验室用的是SUUS的光刻机，光刻胶我一般用4620正胶，显影液AZ300和AZ400都可以，但AZ400用时需要稀释一下。不建议去纳米所去做，因为费用很贵。随便找个有光进口刻机的大学里都能完成这个实验，而且价格可以协商。祝好 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
读书湖朱哥
9楼2013-07-10 19:33:19
2楼2013-07-08 18:16:14
4楼2013-07-09 09:55:13
5楼2013-07-10 10:03:46
6楼2013-07-10 10:07:24
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
7楼2013-07-10 15:16:48
ledlau
木虫 (著名写手)
- 应助: 24 (小学生)
- 金币: 4066.4
- 散金: 110
- 红花: 11
- 帖子: 1463
- 在线: 331.1小时
- 虫号: 1278255
- 注册: 2011-04-26
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
8楼2013-07-10 19:17:49
10楼2013-07-11 09:42:34
50