24小时热门版块排行榜    

查看: 4333  |  回复: 14

highchen

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
考虑清楚是采用lift off 工艺还是刻蚀工艺(可以用离子刻蚀工艺刻蚀金),这两个是不同的掩模版,其中使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的,不是上面说的那么简单,比较保险的方法要么采用双层胶工艺,要不是反转胶工艺,直接使用单层光刻胶剥离因线宽限制不可能做的很高,而溅射的台阶覆盖性比较好,最后剥离的时候有一定的难度;可换蒸发镀膜工艺,对台阶的覆盖性差,便于剥离。
另一个工艺是刻蚀,这个主要靠设备,你的线宽下难度倒不大。不过国内有刻蚀金设备的不多。
11楼2013-07-11 11:37:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

highchen

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
附带说一句,该专利对做小线宽的叉指电极结构没有太大的意义。
12楼2013-07-11 11:39:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
11楼: Originally posted by highchen at 2013-07-11 11:37:05
考虑清楚是采用lift off 工艺还是刻蚀工艺(可以用离子刻蚀工艺刻蚀金),这两个是不同的掩模版,其中使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的,不是上面说的那么简单,比较保险的方法要么采用双层胶工艺,要 ...

谢谢您的帮助!“使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的”,这个地方是有不妥的地方,可能其它地方的工艺也有问题。
我现在对着方面的工艺不了解,等我了解之后再找您讨论下!谢谢!
13楼2013-07-11 13:49:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wang00

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
11楼: Originally posted by highchen at 2013-07-11 11:37:05
考虑清楚是采用lift off 工艺还是刻蚀工艺(可以用离子刻蚀工艺刻蚀金),这两个是不同的掩模版,其中使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的,不是上面说的那么简单,比较保险的方法要么采用双层胶工艺,要 ...

金电极两三百纳米用5214反转很好剥。问题是线宽和线距差这么多,不知是什么应用,否则直接丝网印刷省钱不少。
14楼2013-07-22 20:37:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (初入文坛)


本帖仅楼主可见
15楼2018-01-18 16:26:21
已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页
相关版块跳转 我要订阅楼主 读书湖朱哥 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 科研孤儿太难了 +6 我4大白菜 2026-08-20 6/300 2026-08-20 17:25 by Dylan.Ke
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +21 yaoyewhu2008 2026-08-20 22/1100 2026-08-20 17:03 by yaoyewhu2008
[基金申请] 时间戳又变了 +11 wuchongjun 2026-08-20 14/700 2026-08-20 16:26 by 虫友是什么虫
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +9 zju2000 2026-08-16 10/500 2026-08-20 15:56 by Leogzhya
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+3 snowwithsea 2026-08-19 12/600 2026-08-20 15:56 by lfy8008
[基金申请] 言之凿凿,明天官网会通知放榜? +14 医学老男孩 2026-08-20 16/800 2026-08-20 15:47 by LNP@mRNA
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +16 Ldrop2023 2026-08-13 20/1000 2026-08-20 11:07 by xskun
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] 今天放榜吗? +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
信息提示
请填处理意见