应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
52/1返回列表
查看: 3859  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题 已有6人参与

大家好！我现在介绍下实验内容：
制作一金叉指电极（磁控溅射），其尺寸为10*10mm，其叉指条纹宽度为10um，间距为200um，其叉指条纹数量20个。
1.定制相应尺寸的光刻掩膜板；
2.基片清洗，经抛光、丙酮、无水乙醇和去离子水处理后烘干；
3.旋涂光刻胶，采用KW-4A型匀胶机旋涂；
4.掩膜曝光，将掩膜板放入光刻机光刻，并显影；
5.溅射，将上述基底放入溅射机溅射金属电极；
6.超声剥离，浸入丙酮溶液，并用超声剥离得到叉指电极。
以上制作步骤是胡永明先生专利提供的方法。

我现在遇到的问题是：
1.光刻掩膜板定制的公司及价位（除南京清微电子外）；
2.以上各步骤所需要的制作时间和操作注意事项；
3.光刻技术相关设备型号、实验材料以及优缺点（如光刻机型号、光刻胶型号）。

[ Last edited by congqin312 on 2013-7-11 at 14:46 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2013-07-08 13:42:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wang00

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by highchen at 2013-07-11 11:37:05
考虑清楚是采用lift off 工艺还是刻蚀工艺（可以用离子刻蚀工艺刻蚀金），这两个是不同的掩模版，其中使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的，不是上面说的那么简单，比较保险的方法要么采用双层胶工艺，要 ...

金电极两三百纳米用5214反转很好剥。问题是线宽和线距差这么多，不知是什么应用，否则直接丝网印刷省钱不少。
赞一下 回复此楼
14楼2013-07-22 20:37:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

东风燕

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
掩模板制作的话可以选择深圳路维光电，前段时间刚做的，大概四英寸的要1100左右吧。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
东风燕
2楼2013-07-08 18:16:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-07-11 11:46:22
这破流程还专利？
你现在遇到的问题是需要个人把整个叉指电极lift off的正确方法教一遍。不过，这个教一遍，比替你把电极做出来费劲多了。更何况你找的这个所谓的专利，可以说是状况百出，陷阱无数。
搭着讨论的幌子请教问题，还分享，还进步…………
想获得帮助就老老实实请教
赞一下(3人) 回复此楼
3楼2013-07-08 22:27:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xmji

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个太简单了
随便一微电子的本科生都可以做吧
都是标准工艺了

掩膜版 上海和深圳一般四英寸都是1000+
工艺的话 确实没啥讨论的
赞一下 回复此楼
4楼2013-07-09 09:55:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 国自然面上和省基金B类撒花 +16 花田半亩～白 2026-04-21 16/800 2026-04-23 03:04 by 魅力紫翼
[考研] 有没有学校收留 +3 蒋昌鹏qtj 2026-04-20 3/150 2026-04-22 20:25 by 学员JpLReM
[考研] 312求调剂 +3 山河似你温柔 2026-04-22 3/150 2026-04-22 20:17 by 学员JpLReM
[考博] 华师大读博 +3 xq83 2026-04-22 5/250 2026-04-22 10:42 by xq83
[教师之家] 又一批高校组建人工智能学院 师资行吗 不是骗人吗 +5 yexuqing 2026-04-19 5/250 2026-04-22 10:01 by easeheart
[论文投稿] 急需审稿人！！！ +3 陆小果画大饼 2026-04-21 3/150 2026-04-21 23:54 by jzy_123456
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[考研] 085600材料与化工调剂 5+3 孜孜不倦2002 2026-04-19 6/300 2026-04-20 21:25 by babero
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 260求调剂 +4 Zyt1314520.. 2026-04-17 5/250 2026-04-18 08:28 by babysonlkd
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭