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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题 已有6人参与

大家好！我现在介绍下实验内容：
制作一金叉指电极（磁控溅射），其尺寸为10*10mm，其叉指条纹宽度为10um，间距为200um，其叉指条纹数量20个。
1.定制相应尺寸的光刻掩膜板；
2.基片清洗，经抛光、丙酮、无水乙醇和去离子水处理后烘干；
3.旋涂光刻胶，采用KW-4A型匀胶机旋涂；
4.掩膜曝光，将掩膜板放入光刻机光刻，并显影；
5.溅射，将上述基底放入溅射机溅射金属电极；
6.超声剥离，浸入丙酮溶液，并用超声剥离得到叉指电极。
以上制作步骤是胡永明先生专利提供的方法。

我现在遇到的问题是：
1.光刻掩膜板定制的公司及价位（除南京清微电子外）；
2.以上各步骤所需要的制作时间和操作注意事项；
3.光刻技术相关设备型号、实验材料以及优缺点（如光刻机型号、光刻胶型号）。

[ Last edited by congqin312 on 2013-7-11 at 14:46 ]
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1楼 2013-07-08 13:42:03
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by highchen at 2013-07-11 11:37:05
考虑清楚是采用lift off 工艺还是刻蚀工艺（可以用离子刻蚀工艺刻蚀金），这两个是不同的掩模版，其中使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的，不是上面说的那么简单，比较保险的方法要么采用双层胶工艺，要 ...

谢谢您的帮助！“使用lift off工艺做10um的线宽是有一定的问题的”，这个地方是有不妥的地方，可能其它地方的工艺也有问题。
我现在对着方面的工艺不了解，等我了解之后再找您讨论下！谢谢！
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13楼2013-07-11 13:49:02
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东风燕

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
掩模板制作的话可以选择深圳路维光电，前段时间刚做的，大概四英寸的要1100左右吧。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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东风燕
2楼2013-07-08 18:16:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-07-11 11:46:22
这破流程还专利？
你现在遇到的问题是需要个人把整个叉指电极lift off的正确方法教一遍。不过，这个教一遍，比替你把电极做出来费劲多了。更何况你找的这个所谓的专利，可以说是状况百出，陷阱无数。
搭着讨论的幌子请教问题，还分享，还进步…………
想获得帮助就老老实实请教
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3楼2013-07-08 22:27:48
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个太简单了
随便一微电子的本科生都可以做吧
都是标准工艺了

掩膜版 上海和深圳一般四英寸都是1000+
工艺的话 确实没啥讨论的
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4楼2013-07-09 09:55:13
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