| 查看: 3801 | 回复: 14 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题 已有6人参与
|
|||
|
大家好！我现在介绍下实验内容： 制作一金叉指电极（磁控溅射），其尺寸为10*10mm，其叉指条纹宽度为10um，间距为200um，其叉指条纹数量20个。 1.定制相应尺寸的光刻掩膜板； 2.基片清洗，经抛光、丙酮、无水乙醇和去离子水处理后烘干； 3.旋涂光刻胶，采用KW-4A型匀胶机旋涂； 4.掩膜曝光，将掩膜板放入光刻机光刻，并显影； 5.溅射，将上述基底放入溅射机溅射金属电极； 6.超声剥离，浸入丙酮溶液，并用超声剥离得到叉指电极。 以上制作步骤是胡永明先生专利提供的方法。 我现在遇到的问题是： 1.光刻掩膜板定制的公司及价位（除南京清微电子外）； 2.以上各步骤所需要的制作时间和操作注意事项； 3.光刻技术相关设备型号、实验材料以及优缺点（如光刻机型号、光刻胶型号）。 [ Last edited by congqin312 on 2013-7-11 at 14:46 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有155人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有7人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗？
已经有7人回复
- 磁控溅射 控制衬底温度的电极
已经有7人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 【学术交流】 磁控溅射——应用领域交流
已经有16人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池
已经有12人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
ledlau
木虫 (著名写手)
- 应助: 24 (小学生)
- 金币: 4066.4
- 散金: 110
- 红花: 11
- 帖子: 1463
- 在线: 331.1小时
- 虫号: 1278255
- 注册: 2011-04-26
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
8楼2013-07-10 19:17:49
2楼2013-07-08 18:16:14
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2013-07-08 22:27:48
4楼2013-07-09 09:55:13
