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conquertju

金虫 (小有名气)

[求助] 硅表面磁控溅射银

不知道有木有人做这方面内容?最近做实验硅表面用酒精超声波清洗10min,再用HF酸洗一会,之后硅表面出现花纹,磁控溅射后出现脱落,求帮助啊
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by conquertju at 2013-04-15 18:29:23
1.是有用Ti做过渡层
2 RCA这个方法一直没试过,觉得有点麻烦,以后会试下
3硅片是老师给的,据说是工厂废弃的。。。
最近试验用tape胶带粘,就会脱落,以前有的时候不脱落,实验过程都没变。。。...

1. 想做靠谱的事情就不能怕麻烦。
2. 你们老师太不靠谱了,至少要买test级的片子,又不贵。废片子表面情况不知道,怎么能随便乱用呢。需要可以短信我。
3. 随机的东西,就属于不靠谱。
9楼2013-04-16 04:02:01
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cnxhw

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-04-15 16:40:13
conquertju: 金币+2, 有帮助 2013-04-16 17:51:45
硅片不干净。用沸腾的硫酸和双氧水煮20分钟左右,用稀释HF漂去自然氧化层,这时候硅片表面就不会粘水。再用丙酮、乙醇、去离子水分别超声,吹干即可。
另外,溅射后脱落可能功率太小,膜太厚了也容易脱落。
2楼2013-04-15 13:53:31
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cnxhw

木虫 (小有名气)

补充一下,用HF漂后,硅片表面很干净,完全是硅的灰色。
3楼2013-04-15 13:59:58
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conquertju

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cnxhw at 2013-04-15 13:53:31
硅片不干净。用沸腾的硫酸和双氧水煮20分钟左右,用稀释HF漂去自然氧化层,这时候硅片表面就不会粘水。再用丙酮、乙醇、去离子水分别超声,吹干即可。
另外,溅射后脱落可能功率太小,膜太厚了也容易脱落。

谢谢兄台,这个花纹是表面留的水?还是HF酸洗后反应产物?是不是加长HF酸洗时间能好些?
4楼2013-04-15 14:03:12
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