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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者

[求助] 关于磁控溅射直流镀锌

问题：磁控溅射直流镀锌，出现功率不稳和辉光闪烁
用直流镀锌时，开启时还没有调节功率，电压就相对以往电压高出许多，大概400V到600V左右，而一般镀膜开启时都是在电压300V左右，电流和以往一样都在0.2A左右。有辉光，但是出现间隔性闪烁，并每闪烁一次辉光变色，范蓝到红后又成蓝，并每闪烁一次电压自动摆动，上升。使得功率不能控制，这是什么原因造成？希望得到解答，谢谢！
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Positive energy makes life better
1楼2012-11-24 12:31:37
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-11-27 10:26:24
154696523: 金币+10, ★★★很有帮助, 非常感谢 2012-12-09 10:05:01
本底真空不够高，一般至少到-4，你抽到-3意味着可能有氧气，所以开始的时候可能靶中毒，即表面产生氧化锌，如果没记错的话，氩偏蓝，氧篇红，而且靶表面中毒之后，其起辉电压肯定会升高，而闪烁应该是因为氧化层很薄，所以如果没有估计错的话，你这种闪烁应该持续时间较短，不会一直在整个溅射过程中持续吧？！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2012-11-25 14:52:47
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
14楼: Originally posted by 154696523 at 2012-12-04 10:05:45
是的...

这说明你在靶材的背面也起辉了？难道没有在外面套上一个筒子，此筒子接地，但与靶材不通（如果与靶材相同则短路，那么开始都起不了辉）。我实在是想不通为何靶材背面的用来固定靶材的台面上都有锌！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
15楼2012-12-04 14:28:12
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普通回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
楼主啊，你用啥气体溅射都不说真是苦了我们这帮想拿应助指数的人啊！

另外，楼主请提供本底真空和气体流量以及该闪烁现象是否一直持续或者只是开始一小段时间才会有等相关信息！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-11-24 16:31:55
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-24 16:31:55
楼主啊，你用啥气体溅射都不说真是苦了我们这帮想拿应助指数的人啊！

另外，楼主请提供本底真空和气体流量以及该闪烁现象是否一直持续或者只是开始一小段时间才会有等相关信息！

Ar溅射，抽到最高真空度为1.5*10-3，然后氩气流量为60sccm，工作压强调到0.9Pa
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Positive energy makes life better
3楼2012-11-25 10:22:19
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sandman_188

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议镀膜时先预溅射。靶的纯度也在考虑范围之内。楼上的是专家
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5楼2012-11-25 18:04:43
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-25 14:52:47
本底真空不够高，一般至少到-4，你抽到-3意味着可能有氧气，所以开始的时候可能靶中毒，即表面产生氧化锌，如果没记错的话，氩偏蓝，氧篇红，而且靶表面中毒之后，其起辉电压肯定会升高，而闪烁应该是因为氧化层很薄 ...

持续十多分钟都会闪烁，后来因为电压不断升高，到650V，功率大概到了130W，怕靶材会融掉，就没有继续，关闭了电源
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Positive energy makes life better
6楼2012-11-25 20:13:26
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 154696523 at 2012-11-25 20:13:26
持续十多分钟都会闪烁，后来因为电压不断升高，到650V，功率大概到了130W，怕靶材会融掉，就没有继续，关闭了电源...

你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
7楼2012-11-26 04:19:11
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 04:19:11
你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？...

直流源倒是应该没有问题，因为镀其他样品没有该情况。就是镀锌比较奇怪
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8楼2012-11-26 10:49:57
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leongoall

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P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
8楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-11-26 10:49:57
直流源倒是应该没有问题，因为镀其他样品没有该情况。就是镀锌比较奇怪...

这都穿马甲？！
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154696523
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
9楼2012-11-26 14:56:25
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
送鲜花一朵
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9楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 14:56:25
这都穿马甲？！...

您误会了，他刚申请的号，不能提问，又比较紧急，所以我带他提问的，望见谅
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Positive energy makes life better
10楼2012-11-26 15:20:19
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