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关于磁控溅射直流镀锌
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问题:磁控溅射直流镀锌,出现功率不稳和辉光闪烁 用直流镀锌时,开启时还没有调节功率,电压就相对以往电压高出许多,大概400V到600V左右,而一般镀膜开启时都是在电压300V左右,电流和以往一样都在0.2A左右。有辉光,但是出现间隔性闪烁,并每闪烁一次辉光变色,范蓝到红后又成蓝,并每闪烁一次电压自动摆动,上升。使得功率不能控制,这是什么原因造成?希望得到解答,谢谢! |
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leongoall
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4楼2012-11-25 14:52:47
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