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wangyan05

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射直流镀膜

我在做磁控溅射镀膜,用Ni靶材,直流溅射,镀2微米要多久
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半导体新人
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

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感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴 2012-05-18 10:58:47
这个需要做大量实验才能得到相关参数。不同的设备,参数也可能不一样。
2楼2012-05-17 21:36:36
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 蒋版辛苦~ 2012-05-18 10:59:04
这个就要你自己多个实验去验证了!
3楼2012-05-18 07:31:56
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stormor

铁杆木虫 (初入文坛)


qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴交流 2012-05-18 10:59:43
很简单吧,弄个硅片,用胶布在上面挡住一部分,在固定的功率下镀完后用台阶仪测下厚度就可以知道具体的参数了
4楼2012-05-18 08:57:14
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finetx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 希望继续在此版交流 2012-05-18 11:00:06
先做1炉  照个透射 算下溅射率就好了
三人行必有我师
5楼2012-05-18 09:54:50
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jimstar

新虫 (初入文坛)

2微米太厚了,估计溅射做不来
^.^
6楼2012-05-18 10:33:27
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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这个工艺只能你自己摸索了,先做一段时间,测量厚度,计算溅射速率
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
7楼2012-05-18 11:03:35
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tanjianfeng

铁虫 (小有名气)

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35分钟左右   只能说到这么准确了    我们实验了五次   就是这种
8楼2012-05-18 14:49:13
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zhuhairong14

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做次试验,测量下膜厚,就知道了
9楼2012-05-18 19:32:37
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wangyan05

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by tanjianfeng at 2012-05-18 14:49:13
35分钟左右   只能说到这么准确了    我们实验了五次   就是这种

是两微米你确定只用35分钟就可以?
半导体新人
10楼2012-06-05 22:20:45
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