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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射直流镀膜
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wangyan05

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射直流镀膜

我在做磁控溅射镀膜，用Ni靶材，直流溅射，镀2微米要多久
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磁控溅射靶材资料大全

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半导体新人
1楼 2012-05-17 21:32:50
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 蒋版辛苦~ 2012-05-18 10:59:04
这个就要你自己多个实验去验证了！
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3楼2012-05-18 07:31:56
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴 2012-05-18 10:58:47
这个需要做大量实验才能得到相关参数。不同的设备，参数也可能不一样。
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2楼2012-05-17 21:36:36
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stormor

铁杆木虫 (初入文坛)
★
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴交流 2012-05-18 10:59:43
很简单吧，弄个硅片，用胶布在上面挡住一部分，在固定的功率下镀完后用台阶仪测下厚度就可以知道具体的参数了
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4楼2012-05-18 08:57:14
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finetx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 希望继续在此版交流 2012-05-18 11:00:06
先做1炉  照个透射 算下溅射率就好了
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三人行必有我师
5楼2012-05-18 09:54:50
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