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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射直流镀锌
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
10楼: Originally posted by 154696523 at 2012-11-26 15:20:19
您误会了，他刚申请的号，不能提问，又比较紧急，所以我带他提问的，望见谅...

不用担心，我随便开个玩笑而已！

如果直流电源没问题，是否考虑一下靶材的纯度，以及上面说到的催化剂中毒现象。当然，我说的不一定对，仅供参考！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
11楼2012-11-26 23:58:59
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 23:58:59
不用担心，我随便开个玩笑而已！

如果直流电源没问题，是否考虑一下靶材的纯度，以及上面说到的催化剂中毒现象。当然，我说的不一定对，仅供参考！...

镀完后，发现靶材台上出现了Zn，估计反应了吧~
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12楼2012-11-29 18:58:45
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
12楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-11-29 18:58:45
镀完后，发现靶材台上出现了Zn，估计反应了吧~...

靶材台是指的靶背面的位置用来固定靶材的地方嘛？
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
13楼2012-11-29 22:20:34
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
引用回帖:
13楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-29 22:20:34
靶材台是指的靶背面的位置用来固定靶材的地方嘛？...

是的
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Positive energy makes life better
14楼2012-12-04 10:05:45
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
14楼: Originally posted by 154696523 at 2012-12-04 10:05:45
是的...

这说明你在靶材的背面也起辉了？难道没有在外面套上一个筒子，此筒子接地，但与靶材不通（如果与靶材相同则短路，那么开始都起不了辉）。我实在是想不通为何靶材背面的用来固定靶材的台面上都有锌！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
15楼2012-12-04 14:28:12
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by leongoall at 2012-12-04 14:28:12
这说明你在靶材的背面也起辉了？难道没有在外面套上一个筒子，此筒子接地，但与靶材不通（如果与靶材相同则短路，那么开始都起不了辉）。我实在是想不通为何靶材背面的用来固定靶材的台面上都有锌！...

有套筒子，不晓得为什么会这样？
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16楼2012-12-05 16:41:17
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yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 154696523 at 2012-11-25 10:22:19
Ar溅射，抽到最高真空度为1.5*10-3，然后氩气流量为60sccm，工作压强调到0.9Pa...

楼主啊，你的设备能调工作气压啊，请问工作气压是通过调节氩气流速来实现的吗？还是单独控制啊？
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17楼2012-12-28 21:47:10
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
引用回帖:
17楼: Originally posted by yao366 at 2012-12-28 21:47:10
楼主啊，你的设备能调工作气压啊，请问工作气压是通过调节氩气流速来实现的吗？还是单独控制啊？...

有两种方式：1、调节氩气流量可较小幅度改变压强；2、调节高阀可大幅改变压强。
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Positive energy makes life better
18楼2012-12-29 11:14:33
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yao366

新虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by 154696523 at 2012-12-29 11:14:33
有两种方式：1、调节氩气流量可较小幅度改变压强；2、调节高阀可大幅改变压强。...

3Q
19楼2012-12-29 16:03:02
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
在@mokangxin 同学的帮助下解决了问题
“你好！关于那个直流镀膜的问题，我找到了原因。我的是由于直流靶里面的磁场出问题了。由于冷却效果不好导致靶位温度过高使得里面的磁铁磁性变弱，从而出现和你同学类似的问题。希望能够给你同学提供参考。”
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Positive energy makes life better
20楼2013-05-10 10:56:01
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