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138dong

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7楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 04:19:11
你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？...

我现在也遇到了这个问题，用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问题就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的同样是氩气，请问大仙们是什么原因？

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书上有路勤为径

21楼2014-04-09 13:45:51

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leongoall

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P-M-I之初生牛犊

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21楼: Originally posted by 138dong at 2014-04-09 06:45:51
我现在也遇到了这个问题，用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问题就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的同 ...

石墨靶我也曾经遇到一些问题，但我采用的是射频源指定功率模式，镀膜一段时间后因为反射功率造成电源过热保护而灭辉！我个人没有采用过直流源溅射石墨靶，但从你的现象描述上我估计你使用的氩气不纯或本底真空不够好，导致靶材表面出现中毒。

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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！

22楼2014-04-09 17:34:26

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138dong

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22楼: Originally posted by leongoall at 2014-04-09 17:34:26
石墨靶我也曾经遇到一些问题，但我采用的是射频源指定功率模式，镀膜一段时间后因为反射功率造成电源过热保护而灭辉！我个人没有采用过直流源溅射石墨靶，但从你的现象描述上我估计你使用的氩气不纯或本底真空不够 ...

氩气是四个九的应该没问题，本地真空应该问题也不大，石墨靶表面会中毒吗? 我这次买的石墨靶上面有很多裂纹，感觉很疏松，不知对这种实验现象有没有影响啊？

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书上有路勤为径

23楼2014-04-09 21:51:39

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