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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射直流镀锌
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138dong

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 04:19:11
你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？...

我现在也遇到了这个问题，用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问题就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的同样是氩气，请问大仙们是什么原因？
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书上有路勤为径
21楼2014-04-09 13:45:51
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
21楼: Originally posted by 138dong at 2014-04-09 06:45:51
我现在也遇到了这个问题，用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问题就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的同 ...

石墨靶我也曾经遇到一些问题，但我采用的是射频源指定功率模式，镀膜一段时间后因为反射功率造成电源过热保护而灭辉！我个人没有采用过直流源溅射石墨靶，但从你的现象描述上我估计你使用的氩气不纯或本底真空不够好，导致靶材表面出现中毒。
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
22楼2014-04-09 17:34:26
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138dong

金虫 (正式写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by leongoall at 2014-04-09 17:34:26
石墨靶我也曾经遇到一些问题，但我采用的是射频源指定功率模式，镀膜一段时间后因为反射功率造成电源过热保护而灭辉！我个人没有采用过直流源溅射石墨靶，但从你的现象描述上我估计你使用的氩气不纯或本底真空不够 ...

氩气是四个九的应该没问题，本地真空应该问题也不大，石墨靶表面会中毒吗? 我这次买的石墨靶上面有很多裂纹，感觉很疏松，不知对这种实验现象有没有影响啊？
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书上有路勤为径
23楼2014-04-09 21:51:39
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
23楼: Originally posted by 138dong at 2014-04-09 14:51:39
氩气是四个九的应该没问题，本地真空应该问题也不大，石墨靶表面会中毒吗? 我这次买的石墨靶上面有很多裂纹，感觉很疏松，不知对这种实验现象有没有影响啊？...

这个就不清楚了，你可以用其他靶材试试看，看用同样条件会不会电压也会同样升高就能判断是靶材本身的问题还是电源问题！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
24楼2014-04-09 23:44:49
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kkuklx

新虫 (初入文坛)
到现在有没有解决啊！
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25楼2017-09-30 10:53:33
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小木心的

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 04:19:11
你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？...

如果是筒子没套好或者距离不合适会出现闪烁吗？

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26楼2018-09-11 17:24:32
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