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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射直流镀锌
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金虫 (著名写手)

正能量使者

[求助] 关于磁控溅射直流镀锌

问题：磁控溅射直流镀锌，出现功率不稳和辉光闪烁
用直流镀锌时，开启时还没有调节功率，电压就相对以往电压高出许多，大概400V到600V左右，而一般镀膜开启时都是在电压300V左右，电流和以往一样都在0.2A左右。有辉光，但是出现间隔性闪烁，并每闪烁一次辉光变色，范蓝到红后又成蓝，并每闪烁一次电压自动摆动，上升。使得功率不能控制，这是什么原因造成？希望得到解答，谢谢！
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1楼2012-11-24 12:31:37
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小木心的

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 04:19:11
你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？...

如果是筒子没套好或者距离不合适会出现闪烁吗？

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26楼2018-09-11 17:24:32
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