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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射直流镀锌
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者

[求助] 关于磁控溅射直流镀锌

问题：磁控溅射直流镀锌，出现功率不稳和辉光闪烁
用直流镀锌时，开启时还没有调节功率，电压就相对以往电压高出许多，大概400V到600V左右，而一般镀膜开启时都是在电压300V左右，电流和以往一样都在0.2A左右。有辉光，但是出现间隔性闪烁，并每闪烁一次辉光变色，范蓝到红后又成蓝，并每闪烁一次电压自动摆动，上升。使得功率不能控制，这是什么原因造成？希望得到解答，谢谢！
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Positive energy makes life better
1楼 2012-11-24 12:31:37
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138dong

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-26 04:19:11
你还有其他靶材嘛，你试试其他靶材看是否也出现类似情况，譬如说换一块碳靶，碳靶表面即使有氧也不会靶中毒。

另外，闪烁在我看来应该是放电不均匀导致，有没有可能是直流源本身出现问题呢？...

我现在也遇到了这个问题，用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问题就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的同样是氩气，请问大仙们是什么原因？
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书上有路勤为径
21楼2014-04-09 13:45:51
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
楼主啊，你用啥气体溅射都不说真是苦了我们这帮想拿应助指数的人啊！

另外，楼主请提供本底真空和气体流量以及该闪烁现象是否一直持续或者只是开始一小段时间才会有等相关信息！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-11-24 16:31:55
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-24 16:31:55
楼主啊，你用啥气体溅射都不说真是苦了我们这帮想拿应助指数的人啊！

另外，楼主请提供本底真空和气体流量以及该闪烁现象是否一直持续或者只是开始一小段时间才会有等相关信息！

Ar溅射，抽到最高真空度为1.5*10-3，然后氩气流量为60sccm，工作压强调到0.9Pa
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Positive energy makes life better
3楼2012-11-25 10:22:19
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-11-27 10:26:24
154696523: 金币+10, ★★★很有帮助, 非常感谢 2012-12-09 10:05:01
本底真空不够高，一般至少到-4，你抽到-3意味着可能有氧气，所以开始的时候可能靶中毒，即表面产生氧化锌，如果没记错的话，氩偏蓝，氧篇红，而且靶表面中毒之后，其起辉电压肯定会升高，而闪烁应该是因为氧化层很薄，所以如果没有估计错的话，你这种闪烁应该持续时间较短，不会一直在整个溅射过程中持续吧？！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2012-11-25 14:52:47
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