应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于磁控溅射直流镀锌
53/1返回列表
查看: 2253  |  回复: 25
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者

[求助] 关于磁控溅射直流镀锌

问题：磁控溅射直流镀锌，出现功率不稳和辉光闪烁
用直流镀锌时，开启时还没有调节功率，电压就相对以往电压高出许多，大概400V到600V左右，而一般镀膜开启时都是在电压300V左右，电流和以往一样都在0.2A左右。有辉光，但是出现间隔性闪烁，并每闪烁一次辉光变色，范蓝到红后又成蓝，并每闪烁一次电压自动摆动，上升。使得功率不能控制，这是什么原因造成？希望得到解答，谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢
Positive energy makes life better
1楼 2012-11-24 12:31:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
21楼: Originally posted by 138dong at 2014-04-09 06:45:51
我现在也遇到了这个问题，用直流磁控溅射石墨靶制备DLC，外加离子源辅助，现在遇到的问题就是靶功率源那里，调节电流为0.2A不变，电压刚开始就偏高，为500V，20Min后变为720V，半小时后电压竟然为840V了。通入的同 ...

石墨靶我也曾经遇到一些问题，但我采用的是射频源指定功率模式，镀膜一段时间后因为反射功率造成电源过热保护而灭辉！我个人没有采用过直流源溅射石墨靶，但从你的现象描述上我估计你使用的氩气不纯或本底真空不够好，导致靶材表面出现中毒。
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
22楼2014-04-09 17:34:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 26 个回答

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
楼主啊，你用啥气体溅射都不说真是苦了我们这帮想拿应助指数的人啊！

另外，楼主请提供本底真空和气体流量以及该闪烁现象是否一直持续或者只是开始一小段时间才会有等相关信息！
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-11-24 16:31:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-24 16:31:55
楼主啊，你用啥气体溅射都不说真是苦了我们这帮想拿应助指数的人啊！

另外，楼主请提供本底真空和气体流量以及该闪烁现象是否一直持续或者只是开始一小段时间才会有等相关信息！

Ar溅射，抽到最高真空度为1.5*10-3，然后氩气流量为60sccm，工作压强调到0.9Pa
赞一下 回复此楼
Positive energy makes life better
3楼2012-11-25 10:22:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-11-27 10:26:24
154696523: 金币+10, ★★★很有帮助, 非常感谢 2012-12-09 10:05:01
本底真空不够高，一般至少到-4，你抽到-3意味着可能有氧气，所以开始的时候可能靶中毒，即表面产生氧化锌，如果没记错的话，氩偏蓝，氧篇红，而且靶表面中毒之后，其起辉电压肯定会升高，而闪烁应该是因为氧化层很薄，所以如果没有估计错的话，你这种闪烁应该持续时间较短，不会一直在整个溅射过程中持续吧？！
赞一下(3人) 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2012-11-25 14:52:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 26 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +6 慕寒mio 2026-03-16 6/300 2026-03-18 14:26 by 007_lilei
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 考研化学学硕调剂，一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 302求调剂 +9 负心者当诛 2026-03-11 9/450 2026-03-17 17:13 by ruiyingmiao
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:12 by ruiyingmiao
[考研] 26考研求调剂 +6 丶宏Sir 2026-03-13 6/300 2026-03-17 16:13 by 醉在风里
[考研] 290求调剂 +6 孔志浩 2026-03-12 11/550 2026-03-17 14:41 by 周舟舟77
[基金申请] 今年的国基金是打分制吗？ 50+3 zhanghaozhu 2026-03-14 3/150 2026-03-16 17:07 by 北京莱茵润色
[考研] 283求调剂 +10 小楼。 2026-03-12 14/700 2026-03-16 16:08 by 13811244083
[考研] 26考研一志愿中国石油大学(华东)305分求调剂 +3 嘉年新程 2026-03-15 3/150 2026-03-15 13:58 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 080500，材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 工科，求调剂 +3 我887 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:39 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 一志愿211化学学硕310分求调剂 +8 努力奋斗112 2026-03-12 9/450 2026-03-13 15:41 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 277求调剂 +4 anchor17 2026-03-12 4/200 2026-03-13 11:15 by 白夜悠长
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭