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关于磁控溅射直流镀锌
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问题：磁控溅射直流镀锌，出现功率不稳和辉光闪烁 用直流镀锌时，开启时还没有调节功率，电压就相对以往电压高出许多，大概400V到600V左右，而一般镀膜开启时都是在电压300V左右，电流和以往一样都在0.2A左右。有辉光，但是出现间隔性闪烁，并每闪烁一次辉光变色，范蓝到红后又成蓝，并每闪烁一次电压自动摆动，上升。使得功率不能控制，这是什么原因造成？希望得到解答，谢谢！ |
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4楼2012-11-25 14:52:47