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请问磁控溅射镀膜中“溅射功率”指的是什么？ 已有1人参与
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| 本人刚刚接触磁控溅射，弄不清楚“溅射功率”具体指什么，是阴极与衬底的电压和等离子体的微弱电流的乘积吗？ |
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2楼2015-07-11 07:21:16
3楼2015-07-13 08:12:54