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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请问磁控溅射镀膜中“溅射功率”指的是什么？
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问磁控溅射镀膜中“溅射功率”指的是什么？ 已有1人参与

本人刚刚接触磁控溅射，弄不清楚“溅射功率”具体指什么，是阴极与衬底的电压和等离子体的微弱电流的乘积吗？
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1楼 2015-07-10 13:43:46
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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alexwang123: 金币+1, ★★★很有帮助 2015-07-13 10:55:23
alexwang123: 金币+4, ★★★很有帮助 2015-10-23 15:10:55
功率指阴极电压和放电电流的乘积，你说的对。

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2楼2015-07-11 07:21:16
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-07-11 07:21:16
功率指阴极电压和放电电流的乘积，你说的对。

十分感谢！
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3楼2015-07-13 08:12:54
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