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alexwang123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问磁控溅射镀膜中“溅射功率”指的是什么? 已有1人参与

本人刚刚接触磁控溅射,弄不清楚“溅射功率”具体指什么,是阴极与衬底的电压和等离子体的微弱电流的乘积吗?
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
alexwang123: 金币+1, ★★★很有帮助 2015-07-13 10:55:23
alexwang123: 金币+4, ★★★很有帮助 2015-10-23 15:10:55
功率指阴极电压和放电电流的乘积,你说的对。

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-07-11 07:21:16
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-07-11 07:21:16
功率指阴极电压和放电电流的乘积,你说的对。

十分感谢!
3楼2015-07-13 08:12:54
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