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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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愿景-粉冶

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射基片的取向会导致膜的取向吗? 已有2人参与

如题,我的磁控溅射基片是单晶硅,我的膜会和单晶硅的取向一致吗?
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金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

常温溅射,而且膜比较薄的话有时候是非晶的。可以高温溅射试试,应该和基体是一致的。
2楼2015-09-01 13:38:36
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1-maker

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般情况来说,如果你的膜结晶的话,基体的取向会影响膜的取向但不一定跟基体一样。
3楼2015-11-17 22:27:06
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