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愿景-粉冶

新虫 (初入文坛)

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专业: 功能陶瓷

[求助] 磁控溅射基片的取向会导致膜的取向吗？已有2人参与

如题，我的磁控溅射基片是单晶硅，我的膜会和单晶硅的取向一致吗？

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1楼2015-07-08 16:21:38

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1-maker

木虫 (小有名气)

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专业: 金属材料的力学行为

【答案】应助回帖

一般情况来说，如果你的膜结晶的话，基体的取向会影响膜的取向但不一定跟基体一样。

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3楼2015-11-17 22:27:06

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金虫 (初入文坛)

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专业: 社会人类学

【答案】应助回帖

常温溅射，而且膜比较薄的话有时候是非晶的。可以高温溅射试试，应该和基体是一致的。

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2楼2015-09-01 13:38:36

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