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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 基础理论 » 求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？
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suchaohua

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？ 已有2人参与

求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？
Si（110）和Si（111）呢？
还有，单晶Si（100）和Si（001）硅片有没区别？
谢谢！！
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1楼 2014-05-08 09:16:44
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zj12

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
suchaohua: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-05-08 19:00:14
单晶Si（100）硅片长的那个边是表示110晶向的。单晶Si（100）和Si（001）硅片是一样的
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2楼2014-05-08 13:10:32
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suchaohua

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zj12 at 2014-05-08 13:10:32
单晶Si（100）硅片长的那个边是表示110晶向的。单晶Si（100）和Si（001）硅片是一样的

可是[110]方向不平行（100）面啊  他们怎么会在一个平面上？
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3楼2014-06-05 15:52:53
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suchaohua

新虫 (初入文坛)
求大神解答。。。
（100）硅片基准线应该跟（100）面平行吧  为什么会是[110]方向？
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4楼2014-06-05 20:33:00
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文刀玉口

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
suchaohua: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2014-06-08 18:35:21
每一种 wafer 都有相应的参考基准。 （100）和（001）晶向的wafer其实就是一种，你怎么叫都可以，因为Si 的晶体结构决定了这种性质，金刚石结构。其实对于闪锌矿结果的III-V wafer 也是一个样的。
对于参考边的晶向，Si的不是很清楚具体是什么，但像Ge wafer 的话，对于（100）晶向wafer，通常是<100>和<110>晶向的，此处通常用晶向族表示，因为无法严格的区分出[100],[010]等之间的差异，你定义其中一个其他自然而然就出来了，<110>也是一样的。

对于III-V族的话，则有相对明确的定义，像（100）晶向的参考边的话，Primary Flat基本定义为[0-1-1] EJ 标准。
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5楼2014-06-06 20:45:31
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xxjian123

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 文刀玉口 at 2014-06-06 20:45:31
每一种 wafer 都有相应的参考基准。 （100）和（001）晶向的wafer其实就是一种，你怎么叫都可以，因为Si 的晶体结构决定了这种性质，金刚石结构。其实对于闪锌矿结果的III-V wafer 也是一个样的。
对于参考边的晶向 ...

请问怎么才能找出锗晶棒定位边的晶向？谢谢大神啦~~
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6楼2015-10-14 19:55:27
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bigpanda

金虫 (正式写手)
2楼正解啊。
不过应该是垂直于长边是110向。表述而已
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7楼2015-10-23 09:42:42
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ddtongda

新虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by xxjian123 at 2015-10-14 19:55:27
请问怎么才能找出锗晶棒定位边的晶向？谢谢大神啦~~...

锗片的衍射角度比较少，你先确定你这个锗片是什么晶向的，如果是100的，那么参考边就是110的，实在不行，用定向仪一测就测出来了，非常方便快捷。
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8楼2019-02-21 10:38:53
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