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suchaohua新虫 (初入文坛)
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求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？已有2人参与
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求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？ Si（110）和Si（111）呢？ 还有，单晶Si（100）和Si（001）硅片有没区别？ 谢谢！！ |
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【答案】应助回帖
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suchaohua: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2014-06-08 18:35:21
suchaohua: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2014-06-08 18:35:21
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每一种 wafer 都有相应的参考基准。 （100）和（001）晶向的wafer其实就是一种，你怎么叫都可以，因为Si 的晶体结构决定了这种性质，金刚石结构。其实对于闪锌矿结果的III-V wafer 也是一个样的。 对于参考边的晶向，Si的不是很清楚具体是什么，但像Ge wafer 的话，对于（100）晶向wafer，通常是<100>和<110>晶向的，此处通常用晶向族表示，因为无法严格的区分出[100],[010]等之间的差异，你定义其中一个其他自然而然就出来了，<110>也是一样的。 对于III-V族的话，则有相对明确的定义，像（100）晶向的参考边的话，Primary Flat基本定义为[0-1-1] EJ 标准。 |
5楼2014-06-06 20:45:31