| 查看: 2594 | 回复: 12 | |||
[交流]
【求助】求助各位前辈关于单晶硅片高温处理后的腐蚀问题
|
|||
| 求助各位前辈，单晶硅高温约1100度处理后，用HF：HNO3=1:3腐蚀液腐蚀，反应特别剧烈，表面很容易被氧化，加冰醋酸作为缓冲剂也不行，所以想请教各位有什么好的经验吗？谢谢了。。（另我是做单晶硅提纯方向） |
回复此楼» 猜你喜欢
西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题
已经有7人回复
-
论文撤稿了
已经有9人回复
-
青B发送上会通知了吗
已经有10人回复
-
化学专业申博
已经有5人回复
-
招收2026级博士生
已经有5人回复
-
宿州学院学报
已经有3人回复
-
4,4二甲基联苯干啥用，有懂得吗
已经有3人回复
-
医学类期刊求推荐
已经有6人回复
-
26/27申博自荐
已经有10人回复
-
生活琐事由它去
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助《金属高温氧化和热腐蚀》
已经有3人回复
- 单晶硅片水处理
已经有6人回复
- 【求助】关于蒙脱土耐高温的问题
已经有14人回复
- 【求助】关于铝合金的砂纸打磨、抛光腐蚀问题
已经有6人回复
- 【求助】弱弱的问一下：碱腐蚀玻璃的问题
已经有6人回复
- 【问题求助】请问各位前辈，你们的准生证是怎么办的？
已经有13人回复
- 【求助】低碳钢腐蚀的一个问题，很着急，谢谢
已经有14人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
坐标北京，诚征女友
+2/396
-
复旦大学化学系董安钢-李同涛团队招聘博士后（3-5名）
+3/159
-
兰州新区化工产业招商引资
+1/86
-
南京农业大学工学院博士招生 1个名额
+1/72
-
真诚寻找另一半 觉得合适可以相互了解
+1/69
-
真诚才是必杀技
+1/67
-
坐标广州
+2/66
-
不想生娃了，寻找一位已有孩子的成熟男士，相伴到老！
+2/44
-
大连工业大学杰青/长江团队-生物质材料-储能电池方向招收2026级博士生
+1/35
-
江西理工大学稀土学院急招博士生（2026年9月入学）2名，稀土光功能材料方向，非诚勿扰
+1/28
-
11
+1/13
-
郑州大学·安徽高等研究院 2026年博士招生（申请考核制）
+1/13
-
紧急招收2026年秋季入学博士生1名（湘潭大学 固体废弃物低碳利用湖南省工程研究中心）
+1/12
-
盤後看下來，資金沒退，也算是吃上了。
+1/10
-
上海交通大学研究生招生咨询会，来了！
+1/10
-
紧急招收2026年秋季入学博士生1名（湘潭大学 固体废弃物低碳利用湖南省工程研究中心）
+1/10
-
材料分析测试
+1/8
-
杭州师范大学博士后招聘
+1/6
-
地大武汉（211）招生光刻胶半导体方向博士生
+1/4
-
深圳理工大学核酸药物递送与干细胞工程课题组科研助理教授和博士后招聘启事
+1/3
5楼2010-11-26 11:12:47
msewang(金币+1): 2010-11-26 11:09:51
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2010-11-25 22:50:25
3楼2010-11-25 23:18:52
4楼2010-11-26 11:09:07
6楼2010-11-26 11:13:49
7楼2010-11-26 12:43:07
8楼2010-11-26 16:17:31
9楼2010-11-26 16:28:10
10楼2010-11-26 17:01:07
msewang(金币+1): 2010-11-27 12:16:29
msewang(金币+1): 2010-11-28 12:47:33
msewang(金币+1): 2010-11-28 12:47:33
|
把HF：HNO3的配比降下来试试，现在是1：3，可以试试1：6如何，然后再做调整。腐蚀速度很大程度上取决于HF所占的比例，不一定需要加冰醋酸。 另外就是，腐蚀液别太多了，不然在腐蚀结束的时候，你用水冲不干净，很容易再次被氧化。我腐蚀直径大约3厘米的小单晶片一般就用两百毫升的辈子装一百毫升的酸来腐蚀，关键是在冲水的时候要猛、快，连续几瓢水下去就OK了。如果你用水管直接冲，那被氧化的可能性非常大。 [ Last edited by SCU_magiclee on 2010-11-27 at 11:59 ] |
11楼2010-11-27 11:53:23
12楼2010-11-28 22:15:02
13楼2012-06-22 13:20:20