24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2442  |  回复: 12

msewang

新虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】求助各位前辈关于单晶硅片高温处理后的腐蚀问题

求助各位前辈,单晶硅高温约1100度处理后,用HF:HNO3=1:3腐蚀液腐蚀,反应特别剧烈,表面很容易被氧化,加冰醋酸作为缓冲剂也不行,所以想请教各位有什么好的经验吗?谢谢了。。(另我是做单晶硅提纯方向)
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

msewang

新虫 (初入文坛)


HNO3是氧化作用,但HF酸是去除氧化层的,这个腐蚀液本来就是抛光用的,不是你所说的不可避免,低温处理过的硅片就不会被氧化。。。
5楼2010-11-26 11:12:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

hc1112223

禁言 (初入文坛)

msewang(金币+1): 2010-11-26 11:09:51
本帖内容被屏蔽

2楼2010-11-25 22:50:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msewang

新虫 (初入文坛)


谢谢,你可能理解错我的意思了,我的意思是单晶硅片经过高温处理过后,然后去腐蚀,是在常温下,不是在1100摄氏度,我试过吧HF,HNO3,和醋酸的比例改为5:3:3,但是腐蚀后表面还是被氧化了。。。
3楼2010-11-25 23:18:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

andyzhao5858

木虫 (正式写手)


msewang(金币+1): 2010-11-26 11:09:58
表面氧化不可避免啊,硝酸强氧化性,硝酸就是用来表面氧化的
4楼2010-11-26 11:09:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msewang

新虫 (初入文坛)


懂这个或者做过这样实验的前辈请帮助一下吧
6楼2010-11-26 11:13:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

沸腾在绝对零度

铁杆木虫 (正式写手)


非常简单,先在HNO3中浸泡,然后加入HF酸,控制速度,冰醋酸根本不用加!
7楼2010-11-26 12:43:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msewang

新虫 (初入文坛)


请问楼上,您这样做过吗
8楼2010-11-26 16:17:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

andyzhao5858

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by msewang at 2010-11-26 11:12:47:
HNO3是氧化作用,但HF酸是去除氧化层的,这个腐蚀液本来就是抛光用的,不是你所说的不可避免,低温处理过的硅片就不会被氧化。。。

呵呵,1.硝酸表面氧化,2.氢氟酸除去表面氧化层3氧化不可避免在这个溶液中,你说的低温条件下不知多低温度?如何测试?
况且对于硅片来说,HF漂清后据我看到的资料,在一定环境下最长大概10min表面不被氧化。就像我们实验的条件,拿出来几分钟就会长一层及纳米范围的氧化层,这个你可以用椭偏测试验证。
9楼2010-11-26 16:28:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msewang

新虫 (初入文坛)


一般七百度以下处理过的硅片在常温下腐蚀抛光就不容易氧化,可能我们做实验的条件不一样。。
10楼2010-11-26 17:01:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)


msewang(金币+1): 2010-11-27 12:16:29
msewang(金币+1): 2010-11-28 12:47:33
把HF:HNO3的配比降下来试试,现在是1:3,可以试试1:6如何,然后再做调整。腐蚀速度很大程度上取决于HF所占的比例,不一定需要加冰醋酸。
另外就是,腐蚀液别太多了,不然在腐蚀结束的时候,你用水冲不干净,很容易再次被氧化。我腐蚀直径大约3厘米的小单晶片一般就用两百毫升的辈子装一百毫升的酸来腐蚀,关键是在冲水的时候要猛、快,连续几瓢水下去就OK了。如果你用水管直接冲,那被氧化的可能性非常大。

[ Last edited by SCU_magiclee on 2010-11-27 at 11:59 ]
11楼2010-11-27 11:53:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sentaurus

金虫 (小有名气)


111

用NH4OH做缓冲呢? BHF
12楼2010-11-28 22:15:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sunm1980

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
回楼上的朋友,Si的晶圆你用FTIR测下就知道表面存在SiO2*mH2O自然氧化层,这个是不可避免的,不是说不会氧化
13楼2012-06-22 13:20:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 msewang 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 考研调剂生寻找导师 +3 顾瞻考研啊 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:18 by 啵啵啵0119
[考研] 考研生物学考A区211,初试322,科目生化和生物综合,求调剂 +6 。。。54 2026-04-03 6/300 2026-04-05 14:54 by JOKER0401
[考研] 288求调剂,一志愿华南理工大学071005 +6 ioodiiij 2026-04-04 6/300 2026-04-05 10:09 by guoweigw
[考研] 材料与化工306分找调剂 +12 沧海轻舟e 2026-04-03 13/650 2026-04-04 23:45 by lqwchd
[考研] 325求调剂 +4 春风不借意 2026-04-04 4/200 2026-04-04 22:08 by 啵啵啵0119
[考研] 材料调剂 +12 一样YWY 2026-04-02 13/650 2026-04-04 20:49 by 蓝云思雨
[考研] 309分085801求调剂 +11 MY_angel 2026-03-31 11/550 2026-04-04 19:11 by 蓝云思雨
[考研] 求调剂 +3 ffyyu 2026-04-02 3/150 2026-04-04 19:03 by 蓝云思雨
[考研] 265求调剂 +17 林深温澜 2026-04-01 20/1000 2026-04-04 01:09 by userper
[考研] 311求调剂 +20 zchqwer 2026-04-01 22/1100 2026-04-03 22:09 by lglzsd
[考研] 292求调剂 +21 是妍子也是研子 2026-03-30 22/1100 2026-04-03 21:44 by qlm5820
[考研] 考研调剂 +3 Draa 2026-04-03 3/150 2026-04-03 17:37 by hgwz7468
[考研] 289-求调剂 +4 这里是_ 2026-04-03 4/200 2026-04-03 14:23 by 1753564080
[考研] 285求调剂 +8 AZMK 2026-04-02 11/550 2026-04-02 20:16 by yulian1987
[考研] 279求调剂 +5 傅文秋 2026-04-02 5/250 2026-04-02 18:10 by 笔落锦州
[考研] 环境工程297分求调剂一志愿杭高院 +15 GENJIOW 2026-03-31 16/800 2026-04-02 17:56 by cyh—315
[考研] 348环境工程调剂 +3 吴彦祖24k 2026-04-01 3/150 2026-04-02 09:14 by nanaliuyun
[考研] 生物学327,求调剂 +5 书上的梅子 2026-04-01 6/300 2026-04-02 06:47 by ilovexiaobin
[考研] 070300化学279求调剂 +15 哈哈哈^_^ 2026-03-31 17/850 2026-04-01 21:37 by 给你你注意休息
[考研] 0855机械初试280求调剂 +3 kazenotori 2026-03-31 3/150 2026-04-01 10:08 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见