| 查看: 2336 | 回复: 12 | |||
[交流]
【求助】求助各位前辈关于单晶硅片高温处理后的腐蚀问题
|
|||
| 求助各位前辈，单晶硅高温约1100度处理后，用HF：HNO3=1:3腐蚀液腐蚀，反应特别剧烈，表面很容易被氧化，加冰醋酸作为缓冲剂也不行，所以想请教各位有什么好的经验吗？谢谢了。。（另我是做单晶硅提纯方向） |
回复此楼» 猜你喜欢
情人节自我反思：在爱情中有过遗憾吗？
已经有12人回复
-
今年春晚有几个节目很不错，点赞！
已经有11人回复
-
体制内长辈说体制内绝大部分一辈子在底层，如同你们一样大部分普通教师忙且收入低
已经有12人回复
-
过年走亲戚时感受到了所开私家车的鄙视链
已经有9人回复
-
基金正文30页指的是报告正文还是整个申请书
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助《金属高温氧化和热腐蚀》
已经有3人回复
- 单晶硅片水处理
已经有6人回复
- 【求助】关于蒙脱土耐高温的问题
已经有14人回复
- 【求助】关于铝合金的砂纸打磨、抛光腐蚀问题
已经有6人回复
- 【求助】弱弱的问一下：碱腐蚀玻璃的问题
已经有6人回复
- 【问题求助】请问各位前辈，你们的准生证是怎么办的？
已经有13人回复
- 【求助】低碳钢腐蚀的一个问题，很着急，谢谢
已经有14人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
山东征女友，坐标济南
+1/165
-
坐标广州，征女友
+2/130
-
天津科技大学海洋与环境学院殷焕顺团队招博士生1名---分析化学领域
+1/81
-
大连海事大学轮机学院尚有博士名额
+2/56
-
海法大学线上开放日
+1/33
-
国家级青年人才课题组招收2026级硕士研究生
+1/30
-
代朋友发 88公务员诚征男友
+1/17
-
英国布里斯托大学诚招博士生，博士后和联合培养生
+1/17
-
武汉纺织大学全国重点实验室陈嵘教授团队招收硕士研究生
+1/6
-
英国南安普顿大学禅铎课题组诚招气候动力方向博士后
+1/5
-
全奖博士 英国利物浦大学+台湾清华大学 双博士学位
+1/5
-
中国科学技术大学 工程科学学院 国家级人才团队 诚聘博士后
+1/5
-
内江师范学院能源转化与储能实验室诚聘博士1-2人
+1/4
-
中国石油大学（华东）生物质绿色化学转化和生物基功能高分子团队诚招26级硕士生
+1/4
-
招收2026年入学博士研究生
+1/4
-
武汉工程大学化学与环境工程学院赵庆彪教授招收2026级博士生
+1/3
-
澳科大招收2026秋纳米医学/生物材料方向全奖博士研究生（3月5日18:00截止）
+1/3
-
26申博自荐求博导-生物传感分析方向
+1/3
-
华中科技大学/武汉纺织大学联合招收博士后
+1/1
-
大学教授诚征结婚女友@坐标长春
+1/1
5楼2010-11-26 11:12:47
msewang(金币+1): 2010-11-26 11:09:51
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2010-11-25 22:50:25
3楼2010-11-25 23:18:52
4楼2010-11-26 11:09:07
6楼2010-11-26 11:13:49
7楼2010-11-26 12:43:07
8楼2010-11-26 16:17:31
9楼2010-11-26 16:28:10
10楼2010-11-26 17:01:07
msewang(金币+1): 2010-11-27 12:16:29
msewang(金币+1): 2010-11-28 12:47:33
msewang(金币+1): 2010-11-28 12:47:33
|
把HF：HNO3的配比降下来试试，现在是1：3，可以试试1：6如何，然后再做调整。腐蚀速度很大程度上取决于HF所占的比例，不一定需要加冰醋酸。 另外就是，腐蚀液别太多了，不然在腐蚀结束的时候，你用水冲不干净，很容易再次被氧化。我腐蚀直径大约3厘米的小单晶片一般就用两百毫升的辈子装一百毫升的酸来腐蚀，关键是在冲水的时候要猛、快，连续几瓢水下去就OK了。如果你用水管直接冲，那被氧化的可能性非常大。 [ Last edited by SCU_magiclee on 2010-11-27 at 11:59 ] |
11楼2010-11-27 11:53:23
12楼2010-11-28 22:15:02
13楼2012-06-22 13:20:20