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【求助】求助各位前辈关于单晶硅片高温处理后的腐蚀问题
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| 求助各位前辈，单晶硅高温约1100度处理后，用HF：HNO3=1:3腐蚀液腐蚀，反应特别剧烈，表面很容易被氧化，加冰醋酸作为缓冲剂也不行，所以想请教各位有什么好的经验吗？谢谢了。。（另我是做单晶硅提纯方向） |
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13楼2012-06-22 13:20:20
msewang(金币+1): 2010-11-26 11:09:51
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2楼2010-11-25 22:50:25
3楼2010-11-25 23:18:52
4楼2010-11-26 11:09:07