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suchaohua

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助,请问单晶Si(100)硅片,它的基准线取向是什么方向?? 已有2人参与

求助,请问单晶Si(100)硅片,它的基准线取向是什么方向??
Si(110)和Si(111)呢?
还有,单晶Si(100)和Si(001)硅片有没区别?
谢谢!!
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zj12

金虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
suchaohua: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-05-08 19:00:14
单晶Si(100)硅片长的那个边是表示110晶向的。单晶Si(100)和Si(001)硅片是一样的
2楼2014-05-08 13:10:32
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suchaohua

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zj12 at 2014-05-08 13:10:32
单晶Si(100)硅片长的那个边是表示110晶向的。单晶Si(100)和Si(001)硅片是一样的

可是[110]方向不平行(100)面啊  他们怎么会在一个平面上?
3楼2014-06-05 15:52:53
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suchaohua

新虫 (初入文坛)

求大神解答。。。
(100)硅片基准线应该跟(100)面平行吧  为什么会是[110]方向?
4楼2014-06-05 20:33:00
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文刀玉口

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
suchaohua: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 谢谢! 2014-06-08 18:35:21
每一种 wafer 都有相应的参考基准。 (100)和(001)晶向的wafer其实就是一种,你怎么叫都可以,因为Si 的晶体结构决定了这种性质,金刚石结构。其实对于闪锌矿结果的III-V wafer 也是一个样的。
对于参考边的晶向,Si的不是很清楚具体是什么,但像Ge wafer 的话,对于(100)晶向wafer,通常是<100>和<110>晶向的,此处通常用晶向族表示,因为无法严格的区分出[100],[010]等之间的差异,你定义其中一个其他自然而然就出来了,<110>也是一样的。

对于III-V族的话,则有相对明确的定义,像(100)晶向的参考边的话,Primary Flat基本定义为[0-1-1] EJ 标准。
5楼2014-06-06 20:45:31
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xxjian123

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 文刀玉口 at 2014-06-06 20:45:31
每一种 wafer 都有相应的参考基准。 (100)和(001)晶向的wafer其实就是一种,你怎么叫都可以,因为Si 的晶体结构决定了这种性质,金刚石结构。其实对于闪锌矿结果的III-V wafer 也是一个样的。
对于参考边的晶向 ...

请问怎么才能找出锗晶棒定位边的晶向?谢谢大神啦~~
6楼2015-10-14 19:55:27
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bigpanda

金虫 (正式写手)

2楼正解啊。
不过应该是垂直于长边是110向。表述而已
7楼2015-10-23 09:42:42
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ddtongda

新虫 (著名写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by xxjian123 at 2015-10-14 19:55:27
请问怎么才能找出锗晶棒定位边的晶向?谢谢大神啦~~...

锗片的衍射角度比较少,你先确定你这个锗片是什么晶向的,如果是100的,那么参考边就是110的,实在不行,用定向仪一测就测出来了,非常方便快捷。
8楼2019-02-21 10:38:53
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