| 查看: 4970 | 回复: 7 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
suchaohua新虫 (初入文坛)
|
[求助]
求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？已有2人参与
|
||
|
求助，请问单晶Si（100）硅片，它的基准线取向是什么方向？？ Si（110）和Si（111）呢？ 还有，单晶Si（100）和Si（001）硅片有没区别？ 谢谢！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
MOF合成
已经有0人回复
-
请问各位大佬ACS投稿状态这样是成功了吗？
已经有6人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有73人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
太阳能用的单晶硅片可以用来做磁控溅射的基底吗？
已经有7人回复- 【求助】n型单晶硅的拉曼波数在多少cm-1？
已经有7人回复
- 【求助】请问哪里有卖单晶硅太阳能电池的
已经有3人回复
- 【求助】求助各位前辈关于单晶硅片高温处理后的腐蚀问题
已经有12人回复
- 【求助】不同晶面取向的单晶硅硬度的文献
已经有4人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★
suchaohua: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2014-06-08 18:35:21
suchaohua: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2014-06-08 18:35:21
|
每一种 wafer 都有相应的参考基准。 （100）和（001）晶向的wafer其实就是一种，你怎么叫都可以，因为Si 的晶体结构决定了这种性质，金刚石结构。其实对于闪锌矿结果的III-V wafer 也是一个样的。 对于参考边的晶向，Si的不是很清楚具体是什么，但像Ge wafer 的话，对于（100）晶向wafer，通常是<100>和<110>晶向的，此处通常用晶向族表示，因为无法严格的区分出[100],[010]等之间的差异，你定义其中一个其他自然而然就出来了，<110>也是一样的。 对于III-V族的话，则有相对明确的定义，像（100）晶向的参考边的话，Primary Flat基本定义为[0-1-1] EJ 标准。 |
5楼2014-06-06 20:45:31
2楼2014-05-08 13:10:32
suchaohua
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 119.1
- 帖子: 23
- 在线: 17.5小时
- 虫号: 2479935
- 注册: 2013-05-24
- 性别: GG
- 专业: 集成电路设计与测试
3楼2014-06-05 15:52:53
suchaohua
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 119.1
- 帖子: 23
- 在线: 17.5小时
- 虫号: 2479935
- 注册: 2013-05-24
- 性别: GG
- 专业: 集成电路设计与测试
4楼2014-06-05 20:33:00