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101820036

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射用磁钢怎么更换 已有2人参与

我这有一台磁控溅射仪等着用,制备铁磁材料的时候磁钢磁性不够了,要更换磁钢,不知道更换安装有没有什么技巧,不管是拆还是装都觉得磁铁吸力好大,都弄不动,不知哪位有相关的经验和巧思,可以给点好建议吗?万分感谢~~
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你的溅射阴极是哪家设备厂家的,直接找溅射阴极的厂家,让他更换磁铁。溅射阴极背后用的磁铁设计是有讲究的,每一家不同,换过之后需要校准。
2楼2015-06-04 15:41:29
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zym19821116

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我用的磁控溅射是小圆磁铁,每次我都是用两三个来吸我要拿下来的这个,带好手套,异性相吸,问题不大!
3楼2015-09-19 13:32:33
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