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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 磁控溅射用磁钢怎么更换
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101820036

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射用磁钢怎么更换 已有2人参与

我这有一台磁控溅射仪等着用，制备铁磁材料的时候磁钢磁性不够了，要更换磁钢，不知道更换安装有没有什么技巧，不管是拆还是装都觉得磁铁吸力好大，都弄不动，不知哪位有相关的经验和巧思，可以给点好建议吗？万分感谢~~
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1楼 2015-05-25 11:08:43
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你的溅射阴极是哪家设备厂家的，直接找溅射阴极的厂家，让他更换磁铁。溅射阴极背后用的磁铁设计是有讲究的，每一家不同，换过之后需要校准。
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2楼2015-06-04 15:41:29
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zym19821116

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我用的磁控溅射是小圆磁铁，每次我都是用两三个来吸我要拿下来的这个，带好手套，异性相吸，问题不大！
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3楼2015-09-19 13:32:33
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