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q297515943

银虫 (小有名气)

[求助] 求磁控溅射Ca膜的具体实验条件 已有2人参与

求磁控溅射Ca膜的具体实验条件!
比如说起辉电压、气体流量等,越详细越好!
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努力就好~
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kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by q297515943 at 2015-04-12 10:09:51
是的,是Ar溅射,请问Ar的流量要控制多少?起辉的功率是大概多少?谢谢~
...

流量不同腔体不同,通过气压调节流量大小。起辉功率大概一两百瓦吧。

[ 发自小木虫客户端 ]
Tigers.in.the.Mud.
8楼2015-04-12 15:38:08
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kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王

有这种单质靶吗?

[ 发自小木虫客户端 ]
Tigers.in.the.Mud.
2楼2015-04-10 22:24:51
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不同的设备的参数完全不同,楼主应该根据已有文献中规律自己摸索
3楼2015-04-11 09:39:28
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q297515943

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kammury at 2015-04-10 22:24:51
有这种单质靶吗?

有的,已购买~

[ 发自小木虫客户端 ]
努力就好~
4楼2015-04-11 11:10:09
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