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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 求磁控溅射Ca膜的具体实验条件
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q297515943

银虫 (小有名气)

[求助] 求磁控溅射Ca膜的具体实验条件 已有2人参与

求磁控溅射Ca膜的具体实验条件！
比如说起辉电压、气体流量等，越详细越好！
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努力就好~
1楼 2015-04-10 20:32:57
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kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王
有这种单质靶吗？

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Tigers.in.the.Mud.
2楼2015-04-10 22:24:51
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不同的设备的参数完全不同，楼主应该根据已有文献中规律自己摸索
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3楼2015-04-11 09:39:28
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q297515943

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kammury at 2015-04-10 22:24:51
有这种单质靶吗？

有的，已购买～

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努力就好~
4楼2015-04-11 11:10:09
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kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
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4楼: Originally posted by q297515943 at 2015-04-11 11:10:09
有的，已购买～
...

Ar溅射？直流的话一般在几个mT，阴极电压300V就可以放电了。如果是射频，你先调好匹配。

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Tigers.in.the.Mud.
5楼2015-04-12 07:22:56
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q297515943

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kammury at 2015-04-12 07:22:56
Ar溅射？直流的话一般在几个mT，阴极电压300V就可以放电了。如果是射频，你先调好匹配。
...

是的，是Ar溅射，请问Ar的流量要控制多少？起辉的功率是大概多少？谢谢～

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努力就好~
6楼2015-04-12 10:09:51
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q297515943

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kammury at 2015-04-12 07:22:56
Ar溅射？直流的话一般在几个mT，阴极电压300V就可以放电了。如果是射频，你先调好匹配。
...

直流溅射

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努力就好~
7楼2015-04-12 10:10:06
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kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by q297515943 at 2015-04-12 10:09:51
是的，是Ar溅射，请问Ar的流量要控制多少？起辉的功率是大概多少？谢谢～
...

流量不同腔体不同，通过气压调节流量大小。起辉功率大概一两百瓦吧。

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Tigers.in.the.Mud.
8楼2015-04-12 15:38:08
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a123266171

新虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
9楼2015-04-12 16:02:46
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q297515943

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by a123266171 at 2015-04-12 16:02:46
你自己好好研究下，你有一半的可能性完不成这个实验的。

怎么说？我只想用Ca提高下性能～

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努力就好~
10楼2015-04-13 12:06:28
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