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1楼2015-04-10 20:32:57

kammury

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有这种单质靶吗？

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2楼2015-04-10 22:24:51

vincentwz

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【答案】应助回帖

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不同的设备的参数完全不同，楼主应该根据已有文献中规律自己摸索

3楼2015-04-11 09:39:28

q297515943

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2楼: Originally posted by kammury at 2015-04-10 22:24:51
有这种单质靶吗？

有的，已购买～

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4楼2015-04-11 11:10:09

kammury

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4楼: Originally posted by q297515943 at 2015-04-11 11:10:09
有的，已购买～
...

Ar溅射？直流的话一般在几个mT，阴极电压300V就可以放电了。如果是射频，你先调好匹配。

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5楼2015-04-12 07:22:56

q297515943

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5楼: Originally posted by kammury at 2015-04-12 07:22:56
Ar溅射？直流的话一般在几个mT，阴极电压300V就可以放电了。如果是射频，你先调好匹配。
...

是的，是Ar溅射，请问Ar的流量要控制多少？起辉的功率是大概多少？谢谢～

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6楼2015-04-12 10:09:51

q297515943

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5楼: Originally posted by kammury at 2015-04-12 07:22:56
Ar溅射？直流的话一般在几个mT，阴极电压300V就可以放电了。如果是射频，你先调好匹配。
...

直流溅射

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7楼2015-04-12 10:10:06

kammury

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6楼: Originally posted by q297515943 at 2015-04-12 10:09:51
是的，是Ar溅射，请问Ar的流量要控制多少？起辉的功率是大概多少？谢谢～
...

流量不同腔体不同，通过气压调节流量大小。起辉功率大概一两百瓦吧。

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8楼2015-04-12 15:38:08

a123266171

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9楼2015-04-12 16:02:46

q297515943

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9楼: Originally posted by a123266171 at 2015-04-12 16:02:46
你自己好好研究下，你有一半的可能性完不成这个实验的。

怎么说？我只想用Ca提高下性能～

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10楼2015-04-13 12:06:28