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安平勒

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜 已有1人参与

本人打算镀制氧化镍基电致变色材料,但是问题如下:
     由于镍具有铁磁性,但是见文献中有很多用磁控溅射镀制的,这是不是对设备有着更高的要求?如果这样那么如何用普通磁控溅射仪镀制氧化镍薄膜呢?
     采用氧化镍陶瓷应该也是不能消磁吧?
     另外采用镍合金靶材的方法,能否消磁?如有一篇文献中采用镍(93%)-钒(7%)的合金作靶材,那么合金的话掺多少可以消磁,如果掺铝、掺镁、掺钨至少掺多少可以消磁呢?
    请各位多多指教啊,拜托了。
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
安平勒: 金币+5 2015-05-19 08:12:01
单质Ni 靶可以直接进行磁控溅射制备Ni和NiO,没问题的。
2楼2015-03-31 21:02:33
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安平勒

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dwysd at 2015-03-31 21:02:33
单质Ni 靶可以直接进行磁控溅射制备Ni和NiO,没问题的。

可否留个联系方式,请教一下
3楼2015-04-01 14:52:07
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安平勒

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dwysd at 2015-03-31 21:02:33
单质Ni 靶可以直接进行磁控溅射制备Ni和NiO,没问题的。

设备需加强磁或者靶材较薄?
4楼2015-04-01 14:54:40
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
安平勒: 金币+10 2015-05-19 08:12:48
引用回帖:
4楼: Originally posted by 安平勒 at 2015-04-01 14:54:40
设备需加强磁或者靶材较薄?...

我用的Ni 靶是6mm厚。
5楼2015-04-01 21:26:48
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zyxlovew1f

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dwysd at 2015-03-31 21:02:33
单质Ni 靶可以直接进行磁控溅射制备Ni和NiO,没问题的。

请问你镀镍的时候会有结合力不好的情况吗 我做的总是达不到结合力要求 我是在铜上镀镍

发自小木虫Android客户端
6楼2020-11-07 08:41:37
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济南德尔塔

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by zyxlovew1f at 2020-11-07 08:41:37
请问你镀镍的时候会有结合力不好的情况吗 我做的总是达不到结合力要求 我是在铜上镀镍
...

也可以电镀,我们电镀及溅射均可。

发自小木虫Android客户端
7楼2021-04-02 22:57:09
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