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沧海一梦2011至尊木虫 (正式写手)
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[求助]
咨询JGP450a磁控溅射设备的漏样问题
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| 我们组用这台设备很久了，可是镀出来的金属膜（许多种金属）都还有30%左右的氧，不知道大家镀出来的膜质量咋样？含氧量高不高呢？我们的设备气路检漏，气源纯度，靶材纯度都排除了，还是不行呢 |
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 薄膜制备与特性 |
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4楼2014-12-29 21:19:28
2楼2014-12-28 13:22:24
沧海一梦2011
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 在线: 158.5小时
- 虫号: 1739236
- 注册: 2012-04-06
- 性别: MM
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2014-12-29 09:07:20
