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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 咨询JGP450a磁控溅射设备的漏样问题

我们组用这台设备很久了,可是镀出来的金属膜(许多种金属)都还有30%左右的氧,不知道大家镀出来的膜质量咋样?含氧量高不高呢?我们的设备气路检漏,气源纯度,靶材纯度都排除了,还是不行呢
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Friend007

银虫 (知名作家)


本底真空度怎么样呢

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-12-28 13:22:24
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-28 13:22:24
本底真空度怎么样呢

能抽到10^-5呢,还算可以
3楼2014-12-29 09:07:20
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 沧海一梦2011 at 2014-12-29 09:07:20
能抽到10^-5呢,还算可以...

呵呵 等高人出现

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2014-12-29 21:19:28
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