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沧海一梦2011

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[求助] 咨询JGP450a磁控溅射设备的漏样问题

我们组用这台设备很久了，可是镀出来的金属膜（许多种金属）都还有30%左右的氧，不知道大家镀出来的膜质量咋样？含氧量高不高呢？我们的设备气路检漏，气源纯度，靶材纯度都排除了，还是不行呢

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1楼 2014-12-26 20:32:24

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Friend007

银虫 (知名作家)

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本底真空度怎么样呢

[ 发自小木虫客户端 ]

2楼2014-12-28 13:22:24

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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-28 13:22:24
本底真空度怎么样呢

能抽到10^-5呢，还算可以

3楼2014-12-29 09:07:20

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Friend007

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3楼: Originally posted by 沧海一梦2011 at 2014-12-29 09:07:20
能抽到10^-5呢，还算可以...

呵呵等高人出现

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4楼2014-12-29 21:19:28

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