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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 咨询JGP450a磁控溅射设备的漏样问题
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 咨询JGP450a磁控溅射设备的漏样问题

我们组用这台设备很久了，可是镀出来的金属膜（许多种金属）都还有30%左右的氧，不知道大家镀出来的膜质量咋样？含氧量高不高呢？我们的设备气路检漏，气源纯度，靶材纯度都排除了，还是不行呢
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1楼 2014-12-26 20:32:24
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Friend007

银虫 (知名作家)
本底真空度怎么样呢

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2楼2014-12-28 13:22:24
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-28 13:22:24
本底真空度怎么样呢

能抽到10^-5呢，还算可以
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3楼2014-12-29 09:07:20
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 沧海一梦2011 at 2014-12-29 09:07:20
能抽到10^-5呢，还算可以...

呵呵 等高人出现

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-12-29 21:19:28
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