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沧海一梦2011至尊木虫 (正式写手)
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[求助]
咨询JGP450a磁控溅射设备的漏样问题
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| 我们组用这台设备很久了，可是镀出来的金属膜（许多种金属）都还有30%左右的氧，不知道大家镀出来的膜质量咋样？含氧量高不高呢？我们的设备气路检漏，气源纯度，靶材纯度都排除了，还是不行呢 |
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 薄膜制备与特性 |
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沧海一梦2011
至尊木虫 (正式写手)
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- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2014-12-29 09:07:20
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