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yangyueyf

银虫 (正式写手)

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[求助] 射频磁控溅射溅射气压和功率怎样配合才能沉积的快已有1人参与

气压和功率应该怎样配合

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PVD ALD CVD

1楼 2014-12-20 11:08:19

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yaojq73

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

这些参数对于每个设备来说都有一个最合适的区间，过大过小都得不到最大的速率，如果没有一点经验数值的话就用正交实验试试吧

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2楼2014-12-22 09:08:57

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