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summerbs

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜 改变溅射功率的问题~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

用不同的功率
制备出的薄膜
晶粒尺寸应该是不同的吧?
那功率越大 晶粒尺寸越大还是越小啊???


PS:有没有相关的文献。。。真心求教~~~~~~~~~~~~~~
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summerbs

新虫 (小有名气)

有没有人啊~~~~~~~~~
2楼2013-05-13 14:17:41
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

没数据
就自己做一下,不是什么结果都是现成的。

楼主太懒了
3楼2013-05-13 15:57:34
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cstt2007

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

功率越大尺寸越大。我做过SEM,观察过。并且时间越长晶粒尺寸越大。
4楼2013-05-16 15:06:58
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

一般规律:
功率越大
晶粒越大

非晶膜除外
5楼2013-05-16 22:38:16
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

这个得看情况啦,再说了,肯定有个合适的功率长出最大的晶粒来的。
用绳命来搞科研
6楼2013-05-17 14:01:54
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herlife

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-05-17 14:01:54
这个得看情况啦,再说了,肯定有个合适的功率长出最大的晶粒来的。

不同材料的生长规律可能有所不同

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2013-05-17 20:59:46
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