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summerbs

新虫 (小有名气)

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专业: 金属材料的微观结构

[求助] 磁控溅射镀膜改变溅射功率的问题~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

用不同的功率
制备出的薄膜
晶粒尺寸应该是不同的吧？
那功率越大晶粒尺寸越大还是越小啊？？？

PS：有没有相关的文献。。。真心求教~~~~~~~~~~~~~~

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1楼 2013-05-13 10:47:32

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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

这个得看情况啦，再说了，肯定有个合适的功率长出最大的晶粒来的。

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用绳命来搞科研

6楼2013-05-17 14:01:54

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summerbs

[求助] 磁控溅射镀膜 改变溅射功率的问题~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

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钦点木瓜

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